影响氧气纯度的因素有：
1)氧气取出量过大。从物料平衡来看，当加工空气量一定、氮气纯度一定时，如果要求一定的氧气纯度，只能取出一定数量的氧气。如果取出量过多，纯度必然达不到要求。从精馏角度看，氧气取出量过大，上塔提馏段上升蒸气的数量减少，回流比增大，液体中氮(氩)蒸发不充分，将使氧纯度下降。这时应适当关小送氧阀，减少送氧量，同时开大送氮阀，以保证上塔压力一定。
2)液空中氧纯度过低。液空中氧纯度低，必然是液空量过大。它一方面将使上塔提馏段的分离负担加大，另一方面回流液多而难以使氮(氩)组分蒸发充分，从而造成氧纯度降低。这时应对下塔精馏工况进行调整，适当提高液空含氧量。
3)进上塔膨胀空气量过大。进上塔的膨胀空气量越大，排氮纯度越低。要保证送氧量，氧纯度必然下降。当进上塔的膨胀空气量过大时，将破坏上塔的正常精馏工况，使氧纯度大幅度下降。这时，如果是塔内冷量过剩，则应对膨胀机减量。如果液氧液面正常，则需要将部分膨胀空气旁通，以减少进上塔的膨胀空气量。
4)冷凝蒸发器液氧面过高。当主冷液氧面上升时，说明下流液量大于蒸发量，提馏段的回流比增大，造成氧气纯度降低。这时可对膨胀机进行减量。当液氧面很高，而氧纯度很差，一时不容易调好时，可排放部分液氧，使冷凝蒸发器换热面积得到充分利用，然后重新调整。主冷液氧面上涨也可能是由于在液氧中挟带有大量固体二氧化碳，造成传热恶化，液氧蒸发不出来，迫使氧气取出量减少。必要时只得停车加温。
5)塔板效率下降。精馏塔板由于变形、塔体歪斜或筛孔被固体杂质堵塞，则将影响每块塔板上气液传质效果，造成纯度下降。如果运转周期已很长，并且塔板阻力增加，应停车加温。
6)精馏工况异常。当精馏塔发生液泛或液漏等情况时，破坏了精馏塔的正常精馏工况，造成纯度下降。这时要根据具体情况采取措施，消除不正常工况。
7)主冷泄漏。当冷凝蒸发器钎焊质量不好或蒸发管磨漏，或局部爆炸，造成局部微小泄漏时，均可引起压力较高的气氮漏入压力较低的氧侧，造成氧纯度下降。当纯度下降不多时，可通过分析液氧与气氧纯度差来判断。当两者的差别超过正常的气液平衡浓度差时，则往往是由于泄漏造成的，只得停车检修。
